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CIS 系列封閉式離子源分析儀 憑借優(yōu)于 1 ppm 的檢測限、在 mTorr 壓力下直接采樣以及用戶(hù)友好的 Windows 軟件包，CIS 系統將滿(mǎn)足您*苛刻的應用。在線(xiàn)過(guò)程監測和控制、在使用點(diǎn)驗證過(guò)程氣體純度、高真空殘余氣體分析和過(guò)程設備泄漏檢查是這些系統*不可少的一些領(lǐng)域。

PPR系列過(guò)程檢測系統是過(guò)程監測和診斷的真空檢測儀。兩種不同的進(jìn)氣路徑提供給殘余氣體分析儀（RGA）：一路高壓進(jìn)氣模式用來(lái)檢測基本真空，一路分壓模式用來(lái)檢測過(guò)程壓力。壓力減少路徑包含一個(gè)微小孔徑，其目的是使運行壓力工作在0.01，0.1，1或10Torr。 它使待測壓力環(huán)境滿(mǎn)足RGA的工作要求約10-6 Torr。 這種壓力控制系統是由渦輪分子的混合泵和隔膜甭組成。

QMS系列四極質(zhì)譜分析儀QMS系列四極質(zhì)譜儀 一個(gè)高效，低成本的寬范圍的質(zhì)譜分析儀。廣泛的有效應用，具有高性?xún)r(jià)比的解決方案，這個(gè)質(zhì)譜分析簡(jiǎn)化了在線(xiàn)過(guò)程檢測和氣體分析，泄漏檢測和故障診斷分析等實(shí)驗。

UGA 系列大氣壓分析儀 新技術(shù)的質(zhì)譜分析儀，壓強測試范圍從大氣到超高真空壓強，是在線(xiàn)監測和混合氣體分析的理想設備。無(wú)論檢測受限制的污染物，溶劑，氫化物， 制冷劑或者是腐蝕性氣體，UGA 都能勝任。UGA 的應用包括半導體尾氣檢測，雜物箱分析，燃料電池的研究，氟利昂檢測，污染檢測，發(fā)酵研究和簡(jiǎn)單真空分析。

RGA 系列殘余氣體分析儀 SRS 的 100、200 和 300 amu 殘余氣體分析儀提供卓*的性能和價(jià)值。這些 RGA 提供真空系統的詳細氣體分析，價(jià)格僅為競爭型號的一半。每個(gè) RGA 系統都配有一個(gè)四極桿探頭、電子控制單元 (ECU) 和一個(gè)用于數據采集和分析以及探頭控制的實(shí)時(shí) Windows 軟件包。

IGC100高精度真空計控制器是一個(gè)高精度真空計控制器，提供壓力測量和過(guò)程自動(dòng)化控制。它測量壓力從Bayard-Alpert電離計,對流增強的皮拉尼真空計,和電容壓力計。提供不間斷的壓力讀數從1000 Torr to UHV。