UGA 系列——腐蝕性氣體的理想選擇

UGA-氫氣系列（UGA w/opt. 3）——適用于高濃度 H 2

ULT 系列——低成本解決方案（起價(jià) 28,000 美元）

UGA 和 U LT系列通用氣體分析儀是**的臺式質(zhì)譜儀，可在大氣壓以上至 UHV 范圍內運行。它們是氣體混合物在線(xiàn)監測和分析的理想選擇。無(wú)論您是測量痕量污染物、溶劑、碳氫化合物、制冷劑還是腐蝕性氣體，您的通用氣體分析儀都能勝任這項任務(wù)。

UGA 應用包括半導體廢氣監測、手套箱分析、燃料電池研究、氟利昂檢測、污染監測、發(fā)酵研究和一般研發(fā)真空分析。

這些分析儀也易于操作和維護。機箱設計允許儀器垂直或水平操作，同時(shí)支持前面板和計算機操作。U LT系列是針對要求不高的應用的簡(jiǎn)化設計。

工作原理

特高壓應用

UGA 系統使用兩級減壓入口進(jìn)入大氣壓下的樣氣。在壓力降低到大約10 -6  Torr之后，氣流被送到質(zhì)譜儀（殘余氣體分析儀——RGA），該質(zhì)譜儀測量每個(gè)感興趣的質(zhì)量的濃度。

UGA Windows 軟件為復雜的繪圖和數據分析提供了一個(gè)圖形用戶(hù)界面。該軟件還允許遠程控制系統的閥門(mén)、加熱器和泵。

對于10 -1到10 -4  Torr范圍內的氣體采樣，使用真空入口組件。只需將 2 ?" CF 至 ?" 管適配器連接到 CF 端口之一，然后根據入口壓力調整管的長(cháng)度。

為 UHV 應用(<10 -4  Torr)提供了對 RGA 的直接訪(fǎng)問(wèn)。真空入口組件的任何 2 ?" CF 端口均可用于連接到您的真空室。

多毛細管進(jìn)樣口（僅* UGA 系列）

直接連接

可選的多端口采樣入口由 16 個(gè)安裝在歧管上的閥組成，可與各種毛細管一起使用。

加熱室（僅* UGA 系列）

UGA 系統配備了用于真空室（包括 RGA）、渦輪泵連接器和真空入口組件的單獨加熱器。在烘烤期間，系統可以加熱到 120 °C。

雙隔膜泵（僅* UGA 系列）

單獨的隔膜泵用于處理渦輪泵的旁通流量和回流。這種架構允許在不損壞 RGA 和渦輪泵的情況下分析腐蝕性氣體（氯、氟等），并且幾乎消除了回流問(wèn)題。測量高濃度的低質(zhì)量氣體（氫氣、氦氣等）不再是問(wèn)題。

渦輪泵排氣（UGA 和 U LT）

渦輪泵排氣口的可選閥門(mén)和入口可供希望用干燥氮氣（或其他惰性氣體）排氣的用戶(hù)使用。這使泵免受空氣中存在的水和其他污染物的影響。

軟件系統控制

使用你的 UGA

UGA 系統可以通過(guò)前面板或計算機進(jìn)行控制。提供所有系統組件的手動(dòng)或自動(dòng)控制選擇。

使用 UGA 軟件測量和顯示數據。直觀(guān)的用戶(hù)界面允許快速輕松地進(jìn)行測量。實(shí)時(shí)捕獲和顯示數據，或計劃在*定時(shí)間采集數據。

功能包括模擬和直方圖掃描模式、壓力與時(shí)間圖、泄漏檢測、氣體庫和在線(xiàn)幫助。

RGA 參數也可以通過(guò)上等 ASCII 命令集進(jìn)行控制和監視。標準 RS-232和以太網(wǎng)接口用作您 PC 的數據鏈路。

UGA 系列大氣壓分析儀

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