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RGA 系列殘余氣體分析儀

簡(jiǎn)要描述:RGA 系列殘余氣體分析儀

SRS 的 100、200 和 300 amu 殘余氣體分析儀提供卓*的性能和價(jià)值。這些 RGA 提供真空系統的詳細氣體分析,價(jià)格僅為競爭型號的一半。每個(gè) RGA 系統都配有一個(gè)四極桿探頭、電子控制單元 (ECU) 和一個(gè)用于數據采集和分析以及探頭控制的實(shí)時(shí) Windows 軟件包。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2025-03-20
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量: 1529

詳細介紹

品牌其他品牌應用領(lǐng)域化工,地礦,能源,航空航天,電氣

RGA 系列殘余氣體分析儀

SRS 的 100、200 和 300 amu 殘余氣體分析儀提供卓*的性能和價(jià)值。這些 RGA 提供真空系統的詳細氣體分析,價(jià)格僅為競爭型號的一半。每個(gè) RGA 系統都配有一個(gè)四極桿探頭、電子控制單元 (ECU) 和一個(gè)用于數據采集和分析以及探頭控制的實(shí)時(shí) Windows 軟件包。

堅固的探頭設計

電子倍增器

探頭由離子發(fā)生器、四極濾質(zhì)器和檢測器組成。簡(jiǎn)單的設計具有少量零件,可*大限度地減少放氣并減少將雜質(zhì)引入真空系統的機會(huì )。探頭組件堅固耐用,可安裝在標準2 ? 英寸CF 法蘭上。它被不銹鋼管覆蓋,但離子發(fā)生器除外,它在您的真空系統中只需要 2 ? 英寸的間隙——大約是標準離子計的間隙。探頭采用自對準部件設計,因此可以在清潔后輕松重新組裝。

緊湊型電子控制單元

密集封裝的 ECU 包含用于控制 RGA 頭的所有必要電子設備。它由外部 +24 VDC (2.5 A) 電源或插入交流電源插座的可選內置電源模塊供電。LED 指示燈提供有關(guān)電子倍增器、燈絲、電子系統和探頭狀態(tài)的即時(shí)反饋。ECU 可以很容易地從探頭上拆下,以進(jìn)行高溫烘烤。

*特的燈絲設計

長(cháng)壽命的雙釷銥 (ThO 2 /Ir) 燈絲用于電子發(fā)射。雙 ThO 2 /Ir燈絲的使用壽命比單燈絲長(cháng)得多,從而*大限度地延長(cháng)了燈絲更換之間的時(shí)間。與其他設計不同,SRS 燈絲可以在幾分鐘內由用戶(hù)更換。

雙釷銥絲

電子倍增器

法拉第杯探測器是 SRS RGA 系統的標準配置,可以測量10 -5到 5 × 10 -11  Torr的分壓。為了提高靈敏度和更快的掃描速率,提供了一個(gè)可選的電子倍增器,可檢測低至5 × 10 -14  Torr的分壓。這種**的宏多通道連續打拿極電子倍增器 (CDEM) 提供更長(cháng)的壽命和穩定性,并且也可以由用戶(hù)更換 - 這是 RGA 的開(kāi)創(chuàng )!

加熱套

O100HJRW 加熱器護套配有 Watlow EHG SL10 過(guò)程控制器,可提供 210 °C (±3 °C) 的預編程溫度。加熱器護套采用 PTFE (Teflon) 結構制成,由于其低釋氣和無(wú)顆粒操作,適用于潔凈室應用。O100HJRW 提供 120 VAC 和 220 VAC 版本,并隨附目的地國家/地區的電源線(xiàn)。

加熱套

有用的功能

所有 RGA 都具有內置的脫氣功能。使用電子沖擊解吸,*底清潔離子源,大大降低了離子發(fā)生器對背景噪聲的影響。

固件驅動(dòng)的燈絲保護功能持續監控(675 Hz)過(guò)壓。如果檢測到過(guò)壓,燈絲會(huì )立即關(guān)閉,以保持其使用壽命。

*特的溫度補償對數靜電計在單次掃描中檢測10 -7至 10 -15 安培的離子電流,精度優(yōu)于 2%。這個(gè)巨大的動(dòng)態(tài)范圍意味著(zhù)您可以同時(shí)測量小氣體濃度和大氣體濃度。

*全可編程性

通過(guò)RS-232接口與計算機進(jìn)行通信。模擬和直方圖(條形圖)掃描、泄漏檢測和探頭參數都通過(guò)上等命令集進(jìn)行控制和監控。這允許輕松集成到現有程序中。

RGA 視窗軟件

壓力與時(shí)間模式

RGA 系統由在 PC 上運行的實(shí)時(shí) Windows 軟件包提供支持。直觀(guān)的圖形用戶(hù)界面允許快速輕松地進(jìn)行測量。該程序是*全交互式的,使用戶(hù)可以*全控制圖形顯示??刹鸱制聊贿M(jìn)行雙模式操作,刻度可設置為線(xiàn)性或對數格式,數據可手動(dòng)或自動(dòng)縮放。實(shí)時(shí)捕獲和顯示數據,或計劃在給定的時(shí)間間隔內采集數據,以進(jìn)行長(cháng)期數據記錄。功能包括用戶(hù)可選擇的單位(Torr、mbar、Pa 和 A)、可編程的音頻和視覺(jué)警報以及全*的在線(xiàn)幫助。

該軟件還允許通過(guò)簡(jiǎn)單的質(zhì)量標度調整、靈敏度校準、離子發(fā)生器設置和電子倍增器增益調整實(shí)現完整的 RGA 磁頭控制。為了進(jìn)一步分析,可以將數據文件保存為 ASCII 格式,以便輕松傳輸到電子表格中。圖形圖像可以保存為 META 文件或復制到剪貼板以直接導入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數提供密碼保護,使臨時(shí)用戶(hù)無(wú)法更改重要設置。SRS 網(wǎng)站上還提供了 LabVIEW 驅動(dòng)程序。

圖書(shū)館模式

可選的獨立監視器 (PPM100) 可用于在沒(méi)有主機的情況下控制 RGA。

多頭操作

當需要多個(gè) RGA 時(shí),該軟件支持多頭操作。該軟件*多可監控 8 個(gè) ECU。

性能和價(jià)值

SRS 系列 RGA 非常適合涉及氣體分析、泄漏檢測和真空處理的應用。我們提供 100、200 和 300 amu 系統,支持 Windows 軟件和選項,包括電子倍增器和用于交流線(xiàn)路操作的內置電源模塊。




RGA 系列規格

操作

質(zhì)量范圍
   RGA1001 到 100 amu
   RGA2001 到 200 amu
   RGA3001 至 300 amu
質(zhì)量過(guò)濾器類(lèi)型四極桿
探測器類(lèi)型法拉第杯 - 標準。
電子倍增器 - 選擇。
解析度優(yōu)于 0.5 amu @ 10 % 峰高(根據 AVS 標準 2.3)。在整個(gè)質(zhì)量范圍內可調至恒定峰寬。
靈敏度 (A/Torr)2 × 10 -4 (FC),<200 (EM)。
用戶(hù)可在整個(gè)高壓范圍內調節。用 N 2  @ 28 amu 測量,1 amu 全峰寬、10 % 高度、70 eV 電子能量、12 eV 離子能量和 1 mA 電子發(fā)射電流。
分鐘。可檢測分
   壓
5 × 10 -11 托 (FC)。
5 × 10 -14 托 (EM)。
用 N 2  @ 28 amu 測量,1 amu 全峰寬、10 % 高度、70 eV 電子能量、12 eV 離子能量和 1 mA 電子發(fā)射電流。
運營(yíng)壓力10 -4  Torr 到 UHV (FC)
10 -6  Torr 到 UHV (EM)
*大限度。工作溫度70℃
烘烤溫度300 °C(不帶 ECU)

離子發(fā)生器

設計開(kāi)放式離子源,圓柱對稱(chēng),電子碰撞電離。
材料SS304 結構
燈絲具有固件保護的釷銥(雙)。內置1 至 10 W脫氣加速。現場(chǎng)可更換。
電子能量25 至 105 V,可編程
離子能量8 或 12 V,可編程
聚焦電壓0 至 150 V,可編程
電子發(fā)射電流0 至 3.5 mA,可編程

一般的

探頭尺寸8.75" 從法蘭面到離子發(fā)生器頂部
探頭插入2.0"
探頭安裝法蘭2.75" CF
*小管內徑1.375"
ECU尺寸9.1" × 4.1" × 3.1" (WHL)
可輕松與探頭分離以進(jìn)行烘烤。
LED指示燈電源開(kāi)/關(guān)、燈絲開(kāi)/關(guān)、脫氣開(kāi)/關(guān)、電子倍增器開(kāi)/關(guān)、RS-232 忙、錯誤、過(guò)壓、燈絲燒毀。
熱身時(shí)間30 分鐘后質(zhì)量穩定性 ±0.1 amu
電腦接口RS-232C,28,800 波特,帶上等命令集
軟件基于 Windows 的應用程序
電力需求24 VDC @ 2.5 安培。
可選的內置 VAC 適配器。
重量

6 磅

RGA 系列殘余氣體分析儀

。



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